2025年7月25日，上海启元气体发展有限公司（简称上海启元气体）收到美国Cymer（ASML子公司）发来的光刻气合格供应商认证证书。之前，上海启元气体已于2024年4月11日收到日本准分子激光镜头厂商GIGAPHOTON的合格供应商认证证书。至此，上海启元气体正式具备光刻气双证齐全资质。
上海启元是国内知名的电子大宗气体和电子特气供应商，经过二十几年纯化技术的积累及沉淀，现已实现超高纯氧、高纯氮的现场供气，并已投资运行国内领先技术的电子特种气体精炼中心。此外，上海启元气体目前已发展成为国内稀缺、国际领先的同步拥有电子级氖气、激光气混配生产能力的厂家。
在电子特气行业中，美国Cymer和日本GIGAPHOTON两大国际集成电路行业巨头认证的特殊意义不仅体现在技术门槛上，更对企业的市场准入、商业竞争力和行业地位产生深远影响。此次上海启元气体正式齐集美国Cymer、日本GIGAPHOTON颁发的光刻气领域最高端认证证书，标志着上海启元气体在准分子激光气生产能力、产品质量方面取得了实质性提升，将进一步有力推动我国半导体先进制程核心原材料属地化供应链的补链、延链、强链进程。
